苏州施密科微电子设备有限公司

企业介绍

苏州施密科微电子设备有限公司成立于2017年,是一家集研发,生产,销售为一体的湿法制程设备制造商。秉承“以人为本、精益求精、品质卓越、合作共赢”的经营理念,以优质的生产工艺、超高的品质控制、精细的设备管理,服务于晶圆衬底材料,化合物半导体、SAW、IGBT、MEMS、先进封装等多个领域。

联系方式

全自动有机去胶清洗机

项目数据
适应工件8-12寸晶圆片去胶清洗
批量产能8~12寸13/25pcs/批
工艺流程FOUP→EFM→去胶→IPA→QDR →QDR→DRYING→EFM→FOUP
主要材料SUS骨架+SUS壳板,槽体采用SUS316L石英/PVDF/PTFE材质
运送方式机械臂传送
节拍时间依工艺5~10min可调
工艺效果去胶效率≥99%
其他说明此设备可根据客户要求定制手动/半自动

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