苏州施密科微电子设备有限公司

企业介绍

苏州施密科微电子设备有限公司成立于2017年,是一家集研发,生产,销售为一体的湿法制程设备制造商。秉承“以人为本、精益求精、品质卓越、合作共赢”的经营理念,以优质的生产工艺、超高的品质控制、精细的设备管理,服务于晶圆衬底材料,化合物半导体、SAW、IGBT、MEMS、先进封装等多个领域。

联系方式

单片式湿法刷洗设备

项目数据
应用领域晶圆级晶圆制造(硅、碳化硅)和先进封装领域
圆晶尺寸

150mm~300mm

2~4个loadport

晶圆尺寸 Wafer size

晶圆翻转功能,依次背面和正面清洗

配有背面刷洗和边缘刷洗

兆声清洗工艺及二流体清洗

支持SECS/GEM通讯协议

工艺标准

颗粒(Particles)<20ea@0.16um

PRE ≥97 % @ 0.09um

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