苏州施密科微电子设备有限公司成立于2017年,是一家集研发,生产,销售为一体的湿法制程设备制造商。秉承“以人为本、精益求精、品质卓越、合作共赢”的经营理念,以优质的生产工艺、超高的品质控制、精细的设备管理,服务于晶圆衬底材料,化合物半导体、SAW、IGBT、MEMS、先进封装等多个领域。
施密科是集研发,生产,销售为一体的湿法制程设备制造商
首页 > 产品及应用 > 其他产品 > 单片式湿法刷洗设备
150mm~300mm
2~4个loadport
晶圆尺寸 Wafer size
晶圆翻转功能,依次背面和正面清洗
配有背面刷洗和边缘刷洗
兆声清洗工艺及二流体清洗
支持SECS/GEM通讯协议
颗粒(Particles)<20ea@0.16um
PRE ≥97 % @ 0.09um
应用 : 集成电路 类别 : 其他产品
应用 : 化合物半导体 类别 : 其他产品
+086-18913578885