苏州施密科微电子设备有限公司

企业介绍

苏州施密科微电子设备有限公司成立于2017年,是一家集研发,生产,销售为一体的湿法制程设备制造商。秉承“以人为本、精益求精、品质卓越、合作共赢”的经营理念,以优质的生产工艺、超高的品质控制、精细的设备管理,服务于晶圆衬底材料,化合物半导体、SAW、IGBT、MEMS、先进封装等多个领域。

联系方式

全自动单片清洗设备

项目数据
应用领域RCA清洗,沉积前清洗,蚀刻后清洗,CMP后清洗,湿法刻蚀,EPI前清洗等
设备配置

4~16腔体(可定制)

支持2~4个CST/SMIF/FOUP上下料

支持化学液自动供液CCSS,LCSS

加热控制,浓度控制,流量控制,压力控制等;

酸、碱、有机液排风分离;

支持化学液回收;

高清摄像头,E-FLOW(可选);

全面支持SECS/GEM通讯协议

晶圆尺寸100MM~300MM
工艺指标蚀刻均匀性:片内:<3%;片间:<3%;批次间:<3%;
颗粒控制增加輻層值<20颗@0.2微米(带氧化硅膜测试,来料颗粒<50颗)
金属离子<5E9 ATOMS/CM2

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