苏州施密科微电子设备有限公司

企业介绍

苏州施密科微电子设备有限公司成立于2017年,是一家集研发,生产,销售为一体的湿法制程设备制造商。秉承“以人为本、精益求精、品质卓越、合作共赢”的经营理念,以优质的生产工艺、超高的品质控制、精细的设备管理,服务于晶圆衬底材料,化合物半导体、SAW、IGBT、MEMS、先进封装等多个领域。

联系方式

单片式湿法蚀刻设备

项目数据
适用圆晶尺寸汥見锊腐咯僦菁牮展拭Ұ朩师8”晶圆 
腔体数量

2EA,4EA,8EA可选

片盒2EA,4EA Open Cassette或 (or) Load Port
ROBOT双手臂传送,防止交叉污染
Chuck机械夹持式/真空吸附式
蚀刻硅、氧化硅、铜、钛、等金属刻蚀
干燥方式Spin dry;N2 spin dry
颗粒<10ea @0.3μm
金属离子All Metal<2.5E10 atoms/cm2
蚀刻均匀性<5%
设备稼动率>98%
设备外观9002白色(White)PVC
设备尺寸2100mm(L)*2100mm(W)*2300mm(H)
通讯协议

支持(Support) SECS/GEM&MES

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